1 氣相沉積法

氣相沉積法包括化學(xué)氣相沉積法（CVD法）和物理氣相沉積法（PV D法）％ CVD法是一種用于生產(chǎn)高質(zhì)量、高性能的固體材料的化學(xué)方法，通常應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜制造。PVD法是一種真空沉積法，可以用來(lái)制作薄膜和涂層。PVD法中，材料經(jīng)歷了凝聚態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，然后再轉(zhuǎn)變?yōu)槟蹜B(tài)薄膜的變化過程。PVD法最常用到的處理方法是濺射和蒸發(fā)。PVD法常用于制造具有力學(xué)、光學(xué)、化學(xué)或電學(xué)性能的薄膜J] %

1.2高溫固相合成法

高溫固相合成是一種在高溫(1000 # 1500℃)下，通過固體界面之間的接觸、反應(yīng)、成核和晶體生長(zhǎng)反應(yīng)生成大量的復(fù)合氧化物的方法。高溫固相合成是制備硅/碳負(fù)極材料的一種常用方法，為了防止惰性相硅/碳的生成，反應(yīng)溫度通?？刂圃?/span>1 200 C [15]。

在反應(yīng)過程中，升溫速率、反應(yīng)前驅(qū)物的選擇和反應(yīng)溫度將直接影響材料的結(jié)構(gòu)和性能。高溫固相合成技術(shù)因工藝簡(jiǎn)單，工藝參數(shù)易于控制，重現(xiàn)性好而被廣泛應(yīng)用。

1.3 機(jī)械合金化法

機(jī)械合金化是一種固態(tài)粉末加工技術(shù)，是通過采用重復(fù)冷焊、壓裂和在高能球磨機(jī)中重新焊接混合粉末粒子，得到均勻材料的一種方法，已被證明能夠從混合元素或預(yù)合金粉末中合成各種平衡和非平衡合金相*6] % 與高溫固相合成法相反，機(jī)械合金化法制備的材料通常具有更小的粒度，更大的比表面積和更均勻的組織*17] %1.4 靜電紡絲法靜電紡絲技術(shù)融合了電噴涂和傳統(tǒng)的溶液干法紡絲纖維的優(yōu)點(diǎn)*8]，纖維直徑一般為幾百納米。靜電紡絲過程不需要使用化學(xué)凝固或高溫從溶液中產(chǎn)生紡絲，這使得該工藝特別適用于生產(chǎn)大而復(fù)雜的微粒纖維[19:20] % 靜電紡絲法可利用各種材料制備納米纖維，是一種低成本、工藝簡(jiǎn)單的通用方法。同軸靜電紡絲法是一種改進(jìn)的靜電紡絲技術(shù)，可制備納米管和核殼結(jié)構(gòu)納米纖維。